光刻機(jī)配套純水冷水機(jī)丨精密檢測實(shí)驗(yàn)室機(jī)型

光刻機(jī)配套純水冷水機(jī)丨精密檢測實(shí)驗(yàn)室機(jī)型

在半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用范疇內(nèi)，半導(dǎo)體溫控裝置Chiller起著關(guān)鍵作用的設(shè)備。其在保障半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行方面配套使用。

半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于光通信、激光加工、光學(xué)成像等多個(gè)領(lǐng)域。由于半導(dǎo)體元件固有的物理特性，其對工作環(huán)境溫度要求高。細(xì)微的溫度波動(dòng)，都有可能引發(fā)半導(dǎo)體光學(xué)性能變化。以光通信系統(tǒng)中的激光器為例，溫度的改變會導(dǎo)致其輸出波長發(fā)生漂移，從而干擾信號傳輸?shù)臏?zhǔn)確與穩(wěn)定；在激光加工領(lǐng)域，溫度的不穩(wěn)定會造成激光輸出不一致，進(jìn)而影響加工的精度和效率。

從技術(shù)原理角度分析，半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller主要基于制冷循環(huán)原理實(shí)現(xiàn)溫度控制。壓縮機(jī)首先將制冷劑壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，隨后通過冷凝器釋放熱量，使制冷劑轉(zhuǎn)化為高壓液態(tài)。高壓液態(tài)制冷劑經(jīng)節(jié)流裝置降壓降溫后，進(jìn)入蒸發(fā)器。在蒸發(fā)器內(nèi)，制冷劑吸收周圍熱量并汽化為氣態(tài)，之后被壓縮機(jī)重新吸回，如此循環(huán)往復(fù)，實(shí)現(xiàn)持續(xù)制冷。此外，部分 Chiller 還具備利用壓縮機(jī)熱氣進(jìn)行加熱的功能，無需