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半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機髙壓故障對策

 更新時間:2021-04-01 點擊量:1283

  半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機,它是一類冷卻循環(huán)水機器設(shè)備,半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機是一類能出示控溫、恒流電源、恒流源的冷卻循環(huán)水機器設(shè)備。

 半導體晶圓快速冷卻裝置冷凍機

  (1)、制冷溫度較高,冷疑實際效果欠佳。

  制冷機組規(guī)定的冷卻循環(huán)水額定值工作狀況在30~35℃,溫度高,排熱欠佳,必定造成 冷疑工作壓力高,這類狀況通常產(chǎn)生在高溫時節(jié)。導致溫度高的緣故可能是:冷卻塔常見故障,如離心風機未開乃至翻轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)噴頭不轉(zhuǎn),具體表現(xiàn)為冷卻循環(huán)水溫度很高,并且迅速上升;外部溫度高,水道短,可循環(huán)系統(tǒng)的出水量少,這類狀況冷卻循環(huán)水溫度通常保持在較高的水準,能夠采用提升儲蓄水池的方法給予處理。

  (2)、制冷出水量不夠,達不上額定值出水量。

  具體表現(xiàn)是發(fā)電機組出入水壓差縮?。ㄅc系統(tǒng)軟件資金投入運作之初的壓差對比),溫度差變大。導致出水量不夠的緣故是系統(tǒng)軟件少水或存在汽體,解決方案是在管路高空安裝自動排氣閥開展排氣管;管道混合器阻塞或采用太細,透水性工作能力受到限制,應(yīng)取用適合的過濾裝置并按時清除濾網(wǎng);離心水泵采用較小,與系統(tǒng)軟件不配套設(shè)施。

  (3)、冷卻器積垢或阻塞。

  凝結(jié)水通常用飲用水,在30℃以上時非常容易積垢,并且因為冷卻塔是開啟式的,立即曝露在空氣中,塵土臟東西非常容易進到冷卻系統(tǒng),導致冷卻器臟堵,傳熱總面積小,效率低,并且也危害出水量。

  (4)、冷媒添加太多。

  這類狀況通常產(chǎn)生在檢修以后,具體表現(xiàn)為吸排氣管工作壓力、均衡工作壓力都較高,制冷壓縮機運作電流量也較高。應(yīng)在額定值工作狀況下依據(jù)吸排氣管工作壓力和均衡工作壓力及其運作電流量放氣,直到一切正常。

  (5)、冷媒內(nèi)沾有汽體、N2等不凝固汽體。

  這類狀況通常產(chǎn)生在檢修后,真空包裝。只有排出去,再次真空包裝,再次添加冷媒。

  (6)、電氣設(shè)備常見故障造成的亂報。

因為髙壓維護電磁閥返潮、接觸不良現(xiàn)象或毀壞,模塊電子板返潮或毀壞,通訊常見故障造成亂報。

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